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                    石英舟清洗方法介紹
                    發布:etoahsj 瀏覽:655次

                      (1)將石英舟放入濃度為10%25%的氫氟酸進行浸泡40min120min后,放入噴淋槽用純水噴淋,噴淋時間為20min90min;

                      (2)清洗后的干燥用氣體干燥劑吹干;

                      (3)石英舟的飽和將石英舟放入爐溫為800°C900°C的管式擴散爐中,通入氧氣和流量為10003000ml/Min三氯氧磷液態源,其中氧氣和三氯氧磷液態源的流量比為1:15(4)最后用1030L/Min的氮氣或者氧氣冷卻石英舟。


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